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    home > msds >四氟甲烷(tetrafluoromethane;carbon tetrafluoride)

    1.物质的理化常数:

    国标编号 22033
    CAS号 75-73-0
    中文名称 四氟甲烷
    英文名称 tetrafluoromethane;carbon tetrafluoride
    别    名 R14;四氟化碳
    分子式 CF4 外观与性状 无色无臭气体
    分子量 88.01 蒸汽压 13.33kPa(15.07℃)
    熔    点 -183.6℃ 沸点:-128.0℃ 溶解性 不溶于水
    密    度 相对密度(水=1)1.61(-130℃) 稳定性 稳定
    危险标记 5(不燃气体) 主要用途 用作低温致冷剂及集成电路的等离子干 法蚀刻技术

    2.对环境的影响:

    一、健康危害

      侵入途径:吸入。
      健康危害:能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。

    二、毒理学资料及环境行为

      毒性:属低毒类。
      急性毒性:大鼠吸入90%(充氧)×15分钟,近似致死浓度;大鼠吸入895000ppm×15分钟,最小致死浓度
      危险特性:不燃。若遇高热,容器内压增大,有开裂和爆炸的危险。
      燃烧(分解)产物:氟化氢。

    3.现场应急监测方法:

     

    4.实验室监测方法:

      气相色谱法

    5.环境标准:

     

    6.应急处理处置方法:

    一、泄漏应急处理

      迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。

    二、防护措施

      呼吸系统防护:一般不需特殊防护。高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩)。
      眼睛防护:一般不需特殊防护。
      身体防护:穿一般作业工作服。
      手防护:戴一般作业防护手套。
      其它:避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业,须有人监护。

    三、急救措施

       吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。  

      灭火方法:本品不燃。切断气源。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。

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